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微型動態壓力傳感器:技術特點及其性能優勢有哪些?

來源:南京愛爾傳感 發布時間:2020-05-08 14:01 瀏覽量:

  微型動態壓力傳感器廣泛應用于介質壓力微弱的場合測量與控制,因為它具有良好的防潮能力及優異的介質兼容性,這只是它的性能特點之一,它還有更多優勢被人們所喜愛,那么到底是什么優勢呢?下面,小編就為大家簡單介紹一下。
 


 

微型動態壓力傳感器的技術特點:

  1.小體積是其區別于一般工業、民用壓力傳感器的一個特點。這是由它的應用場合決定的特性,在模型試驗、流場壓力測量、風洞實驗、爆破、水利縮模實驗等應用中,必須采用盡可能小的安裝尺寸和外形,通用的隔膜壓力傳感器,如電容式、充油的隔膜壓阻傳感器因其探頭尺寸最小也在25mm左右,長度60mm,這樣的尺寸對于上述應用已無法滿足。

  目前實驗中常用的硅壓阻式微型壓力傳感器,因其敏感元件尺寸小,利于微型化,長寬約1.5-4mm的圓形或方形單晶硅芯片經過真空鍵合,金絲引線焊接,再用不銹鋼外殼微型封裝,經過溫度補償和各項指標篩選,可以得到直徑3--8mm,長度15-30mm的微型結構尺寸,一般采用M5--M8的安裝螺紋。是目前應用最為普遍的微型壓力傳感器。

  2.微型壓力傳感器的動態特性:

  動態壓力傳感器目前主要有壓電式傳感器、應變式傳感器、硅壓阻式壓力傳感器三大類,壓電式傳感器是高頻測量效果最佳的傳感器,應變式動態響應稍差,前兩者均不易做到5mm以下微型化,而硅壓阻式壓力傳感器動態性能好,同時容易實現微型化封裝,具有廣泛的應用前景。

  硅壓阻式壓力傳感器的動態性能主要取決于其芯片的設計原理和生產工藝,動態壓力傳感器在芯片的設計和制造工藝上對動態指標進行了優化,這與普通工業用的傳感器芯片是不一樣的。

  另一方面還受其封裝方式的影響,一般根據膜片的封裝分為齊平式封裝和帶導壓管的封裝方式。或者是帶有較短壓腔的準齊平封裝。其最高可用頻率響應可達400KHZ, 帶有管腔的傳感器也可達到3-10KHZ左右的使用頻率范圍。

  傳感器的輸出信號再通過專用高頻信號放大器,可以輸出0-10V 0-5V 0-2.5v 等幅值的歸一化電壓信號,方便使用者采集處理。

微型壓力傳感器的性能優勢:

  1.穩定性好,滿度、零位長期穩定性可達0.25%FS/年。在補償溫度-20~80℃范圍內,溫度飄移低于0.25%FS,在整個允許工作溫度范圍內低于0.5%FS。

  2.具有反向保護、限流保護電路,在安裝時正負極接反不會損壞變送器,異常時,變送 器會自動限流在35mA以內。

  3.固態結構,無可動部件,高可靠性,使用壽命長, 安裝方便、結構簡單、經濟耐用。

  4.從風壓到氣、水、油、蒸汽都可以進行高精度的測量,不受被測介質質量大小的影響。

  以上就是小編的介紹,希望對大家了解微型壓力傳感器的特點有所幫助。

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